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          高低溫真空探針臺

          作者:發布時間:2022-06-07分類:探針臺閱讀:1030 ℃評論:0 評論


          高低溫真空探針臺


          極低溫測試:

          因為晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。


          高溫無氧化測試:

          當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。

          晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。


          ◆ 其他組件:

          真空組件

          分子泵組/機械泵/離子泵

          冷源組件

          50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷機


          ◆ 可選附件

          超高溫配件

          顯示器

          轉接頭

          射頻測試配件

          屏蔽箱

          光學平臺

          鍍金卡盤

          光電測試配件

          高壓測試配件

          分子泵組

          激光系統

          氣敏測試配件

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